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產(chǎn)品技術(shù)特點(diǎn)產(chǎn)品參數(shù) 電網(wǎng)輸入的交流正弦電壓，通過(guò)L－C高壓變換器，轉(zhuǎn)換為交流正弦電流，經(jīng)升壓，整流后成為高壓高壓直流電流源給沉積電場(chǎng)供電。 ●高壓硅整流器由高壓變壓器和高壓硅整流器組成，共同裝入一個(gè)方形金屬油箱內(nèi)，并充入清潔干燥的變壓器油。交流輸入電壓由低壓絕緣套管接入，直流高電壓則由高壓絕緣套管引出。 ● 高壓高壓控制柜：由L-C高壓變換器輸出高壓電流源，并設(shè)有過(guò)壓保護(hù)和報(bào)警裝置。當(dāng)變壓硅整流器工作于非正常狀態(tài)時(shí)，控制柜可進(jìn)行自動(dòng)保護(hù)并同時(shí)發(fā)出報(bào)警聲。 技術(shù)特點(diǎn) ● 運(yùn)行穩(wěn)定，可靠性高，能長(zhǎng)期保持沉積效率，能承受瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)短路，當(dāng)沉積電場(chǎng)由于某種原因產(chǎn)生火花放電時(shí)，由于電源輸出電流是“高壓”，電場(chǎng)中的電流不會(huì)增加，而電網(wǎng)輸入電流卻大大減少，僅為額定值的10％，確保了電源設(shè)備的安全。同時(shí)，由于“高壓”，使得放電通道自行消失，不過(guò)渡到弧光放電，保護(hù)了電暈線和陰陽(yáng)極板。
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